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| HS编码 | 品名 | 退税率 | 计量单位 | 海关监管 | 实例|申报要素 | 编码对比 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 84862031.00 | 制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机
(制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机步进光刻机) |
13% | 台/千克 | 无 | 10条 | -- |
| 84862031.10 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）
(制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862031.00 | |
| 84862031.20 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）
(制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862031.10 | |
| 84862031.30 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机）
(制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862031.20 | |
| 84862031.90 | 其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
(其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862031.30 | |
| 84862039.00 | 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
(其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置制造半导体器件或集成电路用的) |
13% | 台/千克 | 无 | 49条 | 对比-84862031.90 |
| 84862039.10 | 制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）
(制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.00 | |
| 84862039.20 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外）
(制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.10 | |
| 84862039.30 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外）
(制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.20 | |
| 84862039.40 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外）
(制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.30 | |
| 84862039.50 | 制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外）
(制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外）) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.40 | |
| 84862039.90 | 未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻设备
(未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻设备) |
13% | 台/千克 | 0条 | 对比-84862039.50 |