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| 商品编码 | 84862041.00 |
| 商品名称 | 制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 |
| 商品描述 | 制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 |
| 英文名称 | Dry plasma etching for the manufacture of semiconductor devices or of electronic integrated circuis |
HS编码 84862041.00 申报实例信息,收录数 42 条
| HS编码 | 商品名称 | 商品规格 |
|---|---|---|
| 84862041.00 | 蚀刻设备(旧) | 制造集成电路中晶圆表面薄膜蚀刻用|蚀刻用|TEL|UM |
| 84862041.00 | 等离子干法刻蚀设备 | 用于半导体机床电路工艺制造|形成电子器件|LAM|45 |
所属分类及章节、品目
| 类目 | |
| 章节 | |
| 品目「8486」 | 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置；零件及附件 |
| 84862 | 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置: |
| 8486204 | 刻蚀及剥离设备: |
| 84862041 | 等离子体干法刻蚀机 |